HD500 — Новое оборудование для ионного покрытия серии HD

HD500 построен на новой платформе технологии композитного покрытия компании Huasheng, что позволяет интегрировать процессы с высокой ионизацией распыления и дуговыми процессами. Пленки, изготовленные с использованием этой технологии, обладают более широкой универсальностью. Особенно очевидны их преимущества при обработке труднообрабатываемых материалов, таких как нержавеющая сталь и титановый сплав, что значительно увеличивает срок службы.

Кроме того, эта технология предлагает значительный потенциал для будущих улучшений процессов. Одновременно она обладает отличной гибкостью, что позволяет удовлетворять требования как для производства покрытий малых серий, так и для научных исследований и разработки процессов.

Свяжитесь С Нами

Технические характеристики HD500

Уникальное Боковое Травление

√ Превосходная однородность бокового травления

√ Отличные характеристики травления с выступами и удобное обслуживание

Композитное магнетронное распыление HiPIMS

√ Оснащен источниками DC + HiPIMS MS, что обеспечивает высокие скорости осаждения при соблюдении энергетических требований для осаждения тугоплавких металлов, таких как Nb, BC, W, V и др., и способен осаждать практически все материалы.

Плазменно-оптимизированный многоарковый источник

√ Оснащен 3 группами по 6 круговых мишеней многоаркового источника, механизм скрытого запуска дуги надежен и легок в обслуживании.

√ Легко достигает осаждения многокомпонентных и многослойных пленок.

√ Оптимизированный плазменный многоарковый источник обеспечивает более гладкую поверхность тонкой пленки.

√ Использование мишени имеет чрезвычайно высокий коэффициент эффективности.

Множество технологий осаждения на одной платформе

√ Реализует несколько технологий осаждения тонких пленок на одной платформе, включая DC MS + HiPIMS MS + многоарковое ионное напыление, и может осуществлять одиночные, композитные и смешанные методы покрытия в одной партии.

Параметры Продукта

HD500

Название	Параметры
Технология покрытия	Новая технология композитного покрытия
Травление	Боковой ионный источник (горячая нить)
Многоарковые источники (количество)	6
Магнетронные катоды (количество)	1
Размер оборудования (мм)	длина 3400 × ширина 1600 × высота 2600
Объем камеры (м³)	0.7
Эффективная площадь покрытия (мм)	Ф410*400
Максимальная рабочая температура (℃)	700
Вместимость загрузки (количество стоек)	5
Загрузка пластин (APMT1135)	6000 шт.
Вместимость загрузки стержневых фрез (D4×50L)	1800pcs
Максимальный вес загрузки (кг)	1800 шт.
Диаметр вала	Ф130
Время процесса	AlTiN: 6~8 ч