Запрос Цены
Оставьте Свое Сообщение

ХОД НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ

Типичный процесс нанесения PVD-покрытия (7 этапов)

01

Загрузка

Загрузите систему образцов в камеру для нанесения покрытия.
Loading
02

Вакуумная откачка

При нанесении PVD-покрытий требуется высокий вакуум. Система нанесения покрытий Huasheng работает в два этапа: сначала механический насос снижает давление в вакуумной камере с 1000 мбар до 10-1 мбар; затем турбомолекулярный насос создает высокий вакуум около 1X10-6 мбар.
Vacuum pumping
03

Нагрев

Нагрейте камеру до температуры около 500 °C, которая является обычной температурой процесса.
Heating
04

Плазменное травление

Система нанесения покрытий Huasheng использует три различные технологии травления: HUASHENG® (боковое тлеющее разряжение); аргоновое плазменное травление, тлеющее разряжение; травление металлическими ионами (Ti+, Cr +).
Cooling
05

Нанесение

Нанесение покрытия осуществляется с помощью PVD (дуговое ионное напыление, магнетронное распыление или интегрированная катодная технология HUASHENG®).
Heating
06

Охлаждение

Охладите камеру для нанесения покрытия.
Vacuum pumping
07

Разгрузка

Извлеките систему образцов из камеры для нанесения покрытия. Разгрузка
Unloading
01020304050607
01

Процесс 1

02

Процесс 2

03

Процесс 3

04

Процесс 4

05

Процесс 5

06

Процесс 6

07

Процесс 7