ХОД НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ

Загрузите систему образцов в камеру для нанесения покрытия.

При нанесении PVD-покрытий требуется высокий вакуум. Система нанесения покрытий Huasheng работает в два этапа: сначала механический насос снижает давление в вакуумной камере с 1000 мбар до 10-1 мбар; затем турбомолекулярный насос создает высокий вакуум около 1X10-6 мбар.

Нагрейте камеру до температуры около 500 °C, которая является обычной температурой процесса.

Система нанесения покрытий Huasheng использует три различные технологии травления: HUASHENG® (боковое тлеющее разряжение); аргоновое плазменное травление, тлеющее разряжение; травление металлическими ионами (Ti+, Cr +).

Нанесение покрытия осуществляется с помощью PVD (дуговое ионное напыление, магнетронное распыление или интегрированная катодная технология HUASHENG®).

Охладите камеру для нанесения покрытия.

Извлеките систему образцов из камеры для нанесения покрытия. Разгрузка